再生砂
利用离心分离将切割砂浆中固体(主要为SIC、含有铁、硅粉、胶体等杂质)和液体(主要为聚乙二醇、水、色素、离子等杂质)分离,采用纯化技术将固体中铁、硅粉及其他杂质除去,利用虹吸技术进行颗粒分选,回收得到符合要求的碳化硅,再返回给晶硅片切割企业,型号主要有JIS#1200、JIS#1500、JIS#2000。
再生液
利用离心分离将切割砂浆中固体(主要为SIC、含有铁、硅粉、胶体等杂质)和液体(主要为聚乙二醇、水、色素、离子等杂质)分离,采用过滤技术、色素吸附技术、去离子技术、超滤技术、纯化及标准化技术,将液体进行再生得到符合要求的切割液,再返回给晶硅片切割企业。